半導体業界に於けるカーボン・セラミックの加工、環境対策、力率改善、作業・工程の効率化、新型ヒータ開発のことなら三幸にお任せ下さい。

取扱商品案内 グラファイト製品

 

◎シリコン単結晶引上げ装置用グラファイト製品。
◎半導体製造装置用グラファイト製品。
◎サセプター関係(各種コーティング)。
*グラファイト加工品であれば、どんなものでも設計から加工まで承ります。

 

セラミック製品

◎一般耐火物製品(アルミナ、ジルコニア、マグネシア)。
◎半導体製造装置用セラミック製品。
*耐火物加工品であれば、どんなものでも設計から加工まで承ります。

 

金属加工製品
◎高融点金属(Mo、Ta、W、Ti)、一般金属(SUS、Al、Cu)等の素材を使用したAssy品、部品の設計・製作。

 

装置関連
shinkuro
熱処理加工を行い高品質の製品を生産
shinkuro

真空中又は、ガス雰囲気中で製品の熱処理加工を行い高品質の製品を生産

VieZA
力率「1」を実現する次世代電力調整ユニット
VieZA

力率「1」を実現、同時に高調波の大幅低減も可能にする電力調整ユニット

CO2削減量:135t /year
300時間/1ヶ月稼動にて計算
500KVA熱処理炉 3台が力率0.4

力率1.0に改善後のCO2削減効果
(66KVA特別高圧受電設備にて)
XYZ
新しい形状の半導体熱処理炉用ヒータ
XYZ

ウェハの面内温度均一性に優れ且つ、昇降温特性にも優れたヒータ
12インチ(φ300mm)、8インチ(φ200mm)すべての装置に対応可能

実測データ
(熱電対付φ150mmウェハにおけるTOP、CENTER、BOTTOM温度)
600℃
800℃
TOP 0.5℃
TOP 0.7℃
CNT 0.1℃
CNT 0.3℃
BTM 0.4℃
BTM 0.5℃
テープヒータ
脱着作業が極めて簡単
テープヒータ

配管内温度の均一性は勿論、脱着作業の効率化を第一に考えた商品

HOT N2ヒータ&温度調節コントローラ
高純度N2を最大400℃まで加熱
HOTN2ヒータ

設定温度を自由に設定可能。フェールセール機能も搭載した商品

SDSユニット
自動制御装置の状態を常時モニタリング。

電流値を常時モニタリングする事で事故を未然に防ぐ診断ユニット


*紹介した商品以外にも「真空乾燥式保管庫」「水平度調整ユニット」等
  100点以上の製品を保有しております。是非ご相談下さい。