半導体業界に於けるカーボン・セラミックの加工、環境対策、力率改善、作業・工程の効率化、新型ヒータ開発のことなら三幸にお任せ下さい。

取扱商品案内

標準小型真空炉


< 製品特徴 >
 ◎炉材は、モリブデンやカーボン等の材料にて構成されておりセラミックファイバー等の断熱構造を
  使用しないため、目的の真空度に到達するまでの時間や降温速度を極端に短縮する事が出来るので、
  非常に短い時間で実験や生産を行うことが出来ます。
 ◎上記構造により吸着ガス等が極めて少なくクリーンな状態で熱処理を行えるため、非常に純度が高く
  高品質の製品を確保できます。
 ◎炉体は、上面開閉方式としワークの出し入れが容易に行える構造となっております。
 ◎チャンバー構造は、水冷ジャケットや保護カバー等を採用し十分な安全性と各シールの熱による破損を
  防いでおります。


標準小型高温高真空雰囲気炉 1800STシリーズ製品仕様
最高温度
1800℃(1750℃)
到達真空度
×10-5Pa(TMP仕様)
×10-3Pa(DP仕様)
雰囲気ガス
真空、雰囲気ガス
雰囲気圧力
0.07kg/cm2
標準炉有効寸法
φ50×70h
φ100×100h
φ150×150h