脱ガス炉(還元炉)
特徴
抵抗加熱ヒータ及び炉内構成品を縦型に配置し、
石英チューブ内にて還元処理(脱ガス)を行う装置です。
石英チューブ内にて還元処理(脱ガス)を行う装置です。
- 水素ガス検知器を設けて、水素ガス漏洩の際は、水素ガスの供給を遮断し、
Arガス炉内のパージを行います。 - 過昇温防止機能で、ヒータの異常加熱の防止、無停電電源(制御系)で瞬時停電の対応をします。
- ペーパーレス記録針(8打点)を設け、真空も可能。
- 均熱: 800℃±10℃
- ワークをヒータ下部から挿入することにより、石英チューブ内への異物混入などが少なくなり、
クリーンな雰囲気で処理が可能。
最高温度 | 1,000℃ |
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使用温度範囲 | 500 ~ 1,000℃ |
1ゾーン カンタル線 |