真空高温抵抗合成炉

 

装置構成・概要

本装置の目的・概要

本装置は、カーボンヒータユニット、試料移載ユニットを装着しており
不活性ガス雰囲気で、高温に加熱し試料を合成するための抵抗加熱装置です。

  • 装置は上下分割チャンバーを採用しておりますので、試料の合成を効率よく行えます。
  • 加熱効率の良い抵抗加熱方式を採用しており、最大1,800℃まで昇温可能です。
  • タッチパネルディスプレイを採用しており、視認性・操作性が優れています。
  • 制御用熱電対温度などをデータロギング及び、CSVデータとして保存する事が可能です。
  • 上下移動機構を装備しているため、安全かつ容易にワークの出し入れが可能です。
  • ヒータ温度、バルブ動作、流量制御をレシピにて管理し、自動制御にて運転をする事が可能です。

メイン画面構成

画面切替え
画面を切替える時は、画面下のスライドタブをタッチする事で、各画面に切替える事が出来ます。