新しい形状の半導体熱処理炉用ヒーター
ウェハの表面温度均一性に優れ且つ、昇降温特性にも優れたヒーター。
XYZ製品仕様
| ヒーター外形（H/OD/ID） | 1,100mm/φ480mm/φ335mm |
|---|---|
| ゾーン数 | 4ゾーン |
| 急冷機構 | 無し |
| 制御熱電対 | ヒータ側壁挿入方式 (制御用4箇所、過温保護用4箇所、アジャスト機構あり) |
| 断熱材材質 | 外周：ファインフレックスペーパー 内周：高純度ファイバーモールド |
| 発熱線材質/形状 | KANTHAL APM / 波型発熱体 |
| 発熱線接続回路 | 並列回路 |
| 端子部 | 側壁ブスパー上下部配置(上2箇所、下3箇所) φ11mm穴1箇所） |
| 最大供給電力 | 38.0kVA |
| 側壁ヒータケース | SUS304t=1.5 |
| 付属品 | 熱電対取付け金具 |
| その他 | ― |
