新しい形状の半導体熱処理炉用ヒータ
ウェハの表面温度均一性に優れ且つ、昇降温特性にも優れたヒーター。

XYZ製品仕様

ヒータ外形(H/OD/ID) 1100mm/φ480mm/φ335mm
ゾーン数 4ゾーン
急冷機構 無し
制御熱電対 ヒータ側壁挿入方式
(制御用4箇所、過温保護用4箇所、アジャスト機構あり)
断熱材材質 外周:ファインフレックスペーパー
内周:高純度ファイバーモールド
発熱線材質/形状 KANTHAL APM / 波型発熱体
発熱線接続回路 並列回路
端子部 側壁ブスパー上下部配置(上2箇所、下3箇所) φ11mm穴1箇所)
最大供給電力 38.0KVA
側壁ヒータケース SUS304t=1.5
付属品 熱電対取付け金具
その他