半導体業界に於けるカーボン・セラミックの加工、環境対策、力率改善、作業・工程の効率化、新型ヒータ開発のことなら三幸にお任せ下さい。

セラミック製品

セラミック製品

セラミック製品ついて紹介しています。

耐火物(アルミナ・ジルコニア)

セラミック製品
  • アルミナ・ジルコニア共、多孔質、緻密質などの材質がございます。
  • 燃成可能最大寸法: W1000 × D1000 × H480
  • ジコルニア バルブの販売も行っております。
(一例)
   

材質

 

HA-K

 

円筒(3分割)

 

φ300×φ280×145[mm]


 

(一例)
 

材質

 

SG-#3

 

円筒(2分割)

 

φ270×φ240×160 [mm]

 

加工品(緻密質アルミナ)

  • 旋盤による円周加工品の製作を行っております。
  • 製作可能目安寸法(完成寸法): 薄物~φ100[mm] 小径品~φ70L[mm]
  • 92・96・99・99.5[%]のアルミナ純度がございます。
  • 釉薬塗布処理(コート品)も承ります。
  • ネジ穴加工・ヘリサート挿入に関しては、ご相談ください。

 

一般耐火物(酸化物引上げ用 等)
アルミナ耐火物 Al2O3  62~99.5%
ジルコニア耐火物 ZrO2 + HfO2  92~93%
マグネシア耐火物 MgO  99%
半導体製造装置用セラミックス
アルミナセラミックス Al2O3  92~99.5%

 

セラミック製品

均熱管ウケ、ヒータ線固定用ピース 他

 

材質別耐火物使い分け一覧(ジルコニア)

HZ-N SG-B SG-#3
密度が低いため熱伝導が低く、保湿性に優れる 保湿性と耐久性のバランスが良い 粒度が粗く、熱膨張係数が小さいため耐久性に優れる
製品名 粒度 カサ密度 熱伝導率 熱膨張係数 空孔率
HZ-N 低い 低い 大きい 高い
SG-B 中間
SG-#3 高い 高い 小さい 低い

TEL 03-5403-9250

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